山梨大学電子シラバス−授業データ

授業科目名

担当教員

量子材料科学特論

長尾　雅則／佐藤　哲也

時間割番号

単位数

コース

履修年次

期別

曜日

時限

GTZ505

(未登録)

前期

木

［概要と目標］

[Advanced Quantum Material Science]
This course deals with the electrical transport properties of solid-state materials and gas-based microfabrication technologies, including lithography, as well as property changes upon miniaturization. It covers electrical transport properties as the basis for material characterization, fabrication, and testing for electronic devices.
固体物質の電気伝導現象、薄膜・ナノ材料の創製法について講義する。また、微細加工技術について気相利用技術やリソグラフィ、微細化に伴う材料物性の変化、微細構造物の物性評価技術についても学ぶ。

[到達目標]

・to understand the electrical transport properties of solid-state materials
・to understand the fundamental principles of plasma discharges
・to understand the gas- and surface-phase chemical reactions
・固体物質の電気伝導に関して俯瞰的に理解する。
・放電現象やプラズマに関する物理・化学の基本原理について理解する。
・薄膜材料、微細構造物の物性評価法について理解する。

［必要知識・準備］

Physical Chemistry, Quantum Chemistry, Electromagnetism, Solid State Physics or Semiconductor Physics
基礎化学、物理化学、量子化学、電磁気学、固体物理学または半導体物性の基礎知識。初学者にもわかりやすい教科書を使用し、予習を前提とした授業を行う。演習問題、レポート課題、小テストを課し、授業にて解説する。
（「面接授業」を基本として実施する。）

［評価基準］

No	評価項目	割合	評価の観点
1	小テスト／レポート	50 %	論理的思考能力、問題設定／解決能力、自発的勉学
2	受講態度	25 %	授業理解力、日常的勉学努力
3	発表／表現等	25 %	論理的思考能力、自発的勉学、表現力

［教科書］

(未登録)

［参考書］

［講義項目］

1. Basis of electrical transport properties
2. Metal
3. Semiconductor and insulator
4. Superconductor
5. Other topics of electrical transport properties
6. What is discharges and plasma?
7. Principles of plasma discharges
8. Interaction of the plasma and the solid surface
9. Fabrication of thin films and nanostructure using plasma processes
10. Characterization of thin films and nanostructure

１　電気伝導に関する基本的なこと。
２　電気がよく流れるもの。
３　電気が流れにくいもの。
４　電気が"超"流れるもの。
５　電気伝導に関するその他の話題。
６　放電現象・プラズマとは
７　プラズマの生成法
８　プラズマと固体表面の相互作用
９　プラズマを利用したナノ構造・薄膜形成
１０　薄膜および微細構造物の物性評価

＊１～５は長尾，６～１０は佐藤が担当する．担当教員の順番と授業予定は改めて指示・掲示する．

［前年度授業に対する改善要望等への対応］

教員によって課題の重さが違うので統一してほしいという要望があったため,
担当する教官で相談して課題については調整を行う.
受講学生の理解状況を見て, 課題に取り組む時間を講義時間内で設けるなどの措置も検討する.