授業科目名	半導体プロセス工学
分類・系統
時間割番号	TAMK18
担当教員名	近藤　英一
開講学期・曜日・時限	後期・水・II	単位数	2
＜対象学生＞
工学部先端材料理工学科学生以外
＜授業の目的＞
☆キャッチフレーズ☆　気体を工具に使う！？ナノ加工を楽しく理解しよう 　工学部の卒業生の多くが，半導体や精密機器などいわゆる「ＩＴ関連製造業」に就職しています。平面ＴＶ，コンピューター，携帯電話，ゲーム機器，などなどなど...　日本の工業の牽引力は，情報機器の製造技術なのです。そこに使われている中心・最高の技術がマイクロ加工・ナノ加工技術なのです。 　授業では，「気体を工具として用いる」という切り口で「ドライプロセス」を中心に講義します。これは現在工業的に用いられている唯一の超微細加工技術で，非常に大きな産業規模をもっています。したがって，皆さんが将来この分野に関わる可能性はとても高いといえるでしょう。含まれる技術は多岐にわたるので、用いられる代表的な物理・化学手法のいくつかをとりあげ、その基本について説明します。
＜本授業科目による獲得・涵養が特に期待されるコンピテンシー＞（能力・資質）
全学共通教育科目向け 記号 コンピテンシー（能力・資質） 説明   A 共通 教養 多様な知識の獲得 単位を取得した教養教育科目の概要と、重要な基礎的事項を説明できる。 ◎ B 様々な学問分野の考え方 当該科目の学問分野(人文･社会･自然･健康科学等)の考え方を説明できる。 ○ C 汎用能力 ３・数量的リテラシー さまざまな情報を統計学的手法などにより、数理的に表現・分析できる。 ○ D ４・論理的思考力 情報を多面的・客観的にとらえ、筋道を立てて根拠を示しながら説明できる。 ○
＜到達目標＞  到達目標とは
目標NO 説明 コンピテンシーとの対応 共通 1 ナノ領域のスケール感を理解する。 A 2 ナノ加工の基本ステップについて理解する。 C 3 物理化学の現実的応用の理解 B 4 大量生産技術の思想の理解 D
＜成績評価の方法＞
目標No 割合 評価の観点 1 25% 平常の取り組み、積極性、提出物による理解度の評価 2 25% 平常の取り組み、積極性、提出物による理解度の評価 3 25% 平常の取り組み、積極性、提出物による理解度の評価 4 25% 平常の取り組み、積極性、提出物による理解度の評価 合計 100%
＜授業の方法＞
板書中心ですが，スライド，ビデオなども利用します。 毎回小演習を行います。採点はしません。記載状況は受講態度点に反映します。 対面授業とします。大学指示などによりライブオンラインで実施するばあいには　【カメラON】　を指示します。バーチャル背景はNG。カメラを利用できる環境で受講のこと。個人の事情によるオンライン受講は対応しません。 いわゆる「公欠」の場合は「欠席の救済」を行います。指定感染症による場合は通院の証など欠席理由が客観的にわかるものを控えておくこと。病気事故等による欠席は自己都合欠席とし原則として救済しません。本講義では追試、再試は行いません。試験公欠の場合でも同様です（全体で評価する）。 全講義中いわゆる「公欠」は全体の1/3まで認めます。それ以上は講義を履修したとは認めません。
＜受講に際して・学生へのメッセージ＞
本講は工学部先端材料理工学科向けに開講されている科目です。専門分野の知識は必要ではありませんが，高校の物理、化学の知識が必要です。数学は難しくはありませんが大学のごく初級の内容を含みます。 　極めて平易な内容なのですが，新奇に感じる概念・内容を多く含んでいますので，最初は難しく感じるかもしれません。それでも，「わかりやすい」という感想をいただいています。学科向けの科目ですが，知識の幅が広がるように工夫しています。物理系・化学系双方の学生に親しみの持てる内容と思います。奮って受講してください。
＜テキスト＞
近藤英一, 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工学の原理, 共立出版, ISBN:4320081544
＜参考書＞
(未登録)
＜授業計画の概要＞
1 タイトル 気体の密度と真空、状態方程式 事前学習 事後学習 予習 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 2 タイトル 気体の運動の速度とエネルギー 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 3 タイトル 平均自由行程と衝突確率 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 4 タイトル マックスウェルボルツマン方程式 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 5 タイトル 気体粒子の衝突 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 6 タイトル 非弾性衝突と弾性衝 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 7 タイトル 中間評価、ふりかえり 事前学習 事後学習 これまでの課題を独力で解けることが望ましい。 授業内容 到達度について確認する 8 タイトル プラズマ処理装置 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 9 タイトル 蒸着法 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 10 タイトル 膜厚分布と薄膜の堆積過程 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 11 タイトル ウェットエッチとドライエッチ 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 12 タイトル ドライエッチングの速度 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 13 タイトル リソグラフィ技術とパターニング 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 14 タイトル 集積回路の構造と作成プロセス 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けることが望ましい。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 表題の内容を教科書に沿って説明、講義中演習 15 タイトル 総合評価、ふりかえり 事前学習 事後学習 これまでの課題を独力で解けることが望ましい。 授業内容 到達度の確認 16 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 17 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 18 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 19 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 20 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 21 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 22 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 23 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 24 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 25 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 26 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 27 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 28 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 29 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 30 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容
＜実務経験のある教員による授業科目の概要＞
担当教員は、企業ならびに外国の研究所で半導体製造プロセスの研究開発の勤務経験があり、それらに基づく知識や実際を講義に反映させます。
＜JABEEプログラムの学習・教育目標との対応＞
《土木環境工学科》 (A) 技術者の責務の自覚 　様々な知識を修得し、技術が社会や自然に及ぼす影響や効果、および技術者の社会に対する責任を理解して、これを説明することができる。 ○
＜備考＞
(未登録)