授業科目名				担当教員
量子材料化学特論				佐藤　哲也
時間割番号	単位数	コース	履修年次	期別	曜日	時限
PTA708	2	(未登録)	1	前期	木	II
［概要と目標］
次世代エレクトロニクスやフォノニクスの基盤となる高精細かつ高機能材料の創製には、ナノサイエンスとナノテクノロジーを融合したナノレベル構造制御技術が求められている。原子･分子レベルで化学反応を制御した量子ﾄﾞｯﾄ/薄膜創製法、量子効果を活かしたデバイスの特性および物性について講義する。薄膜・表面の物理・化学現象を原子・分子のミクロな視点で捉え、無機材料を新規創成するためのプロセス理論とデバイス設計法等について修得する。
[到達目標]
１．固体表面の電子励起と化学反応を理解する。 ２．プラズマを利用したナノ構造創法の原理について理解する。 ３．量子効果を利用したエネルギー関連材料の創製法について理解する。
［必要知識・準備］
物理化学、量子化学、電磁気学の基礎知識。 「面接授業」を基本とし、CVID-19感染症拡大の場合には、「ライブ型」もしくは「オンデマンド型」で実施する。
［評価基準］
No 評価項目 割合 評価の観点 1 小テスト／レポート  40  % 授業理解力、課題解決力  2 受講態度  40  % 授業理解力、日常的勉学努力、自発的勉学  3 発表／表現等  20  % 理論的思考力、解析力
［教科書］
(未登録)
［参考書］
(未登録)
［講義項目］
1．イントロダクション 2．表面の電子励起 3．低速電子励起による固体表面励起 4．光励起による固体表面励起 5．低速イオンと固体の衝突 6．水素原子・ラジカルの表面化学反応 7. 前半のまとめと、課題の発表 8. プラズマの性質 9. プラズマ発生装置 10. プラズマを利用した薄膜形成法 11. プラズマを利用したエッチング 12. 薄膜・表面反応の観察法 13. 量子デバイス創製I 14. 量子デバイス創生II 15. 後半のまとめ、課題の発表