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授業科目名
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担当教官
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プラズマ環境科学特論
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秋津 哲也
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 405155 | 2 | (未登録) | 1 | 後期 | 木 | I |
| ［概要と目標］ | ||||||
| プラズマ発生技術ならびに環境応用について学習する。 １．高周波大気圧グロー放電プラズマと誘電体バリヤー放電、両極性コロナ放電によるダウンフロー大気圧処理、マイクロ波励起表面波プラズマによる表面処理、Micro-Organismに対するクリーニングを原理の学習とともに、研究室内の設備を用いて体験学習する。 ２．マイクロ波励起ラジカル源、プラズマ・イマージョン・イオン・インプランテーションによるダイヤモンド膜の合成。原理の学習とともに、実験装置の立ち上げに寄与してプラズマ理工学的可能性を発見する。 |
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| ［必要知識・準備］ | ||||||
| プラズマ工学、高電圧工学 | ||||||
| ［評価基準］ | ||||||
| 実習・研究によって得られた成果を用いて所属学会や国際会議等での発表等を行い、客観的評価を得ること | ||||||
| ［教科書］ | ||||||
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| ［参考書］ | ||||||
| (未登録) | ||||||
| ［講義項目］ | ||||||
| 大気圧プラズマを用いた環境処理に関する基礎知識の講義と大気圧プラズマを用いた評価実験の実習を行う。マイクロ波によるプラズマ発生方法とこれを用いた表面処理、薄膜合成に関する基礎知識の講義と評価実験の実習を行う。 プラズマによる環境処理や広く表面反応の工学的応用は現在発展途上の研究分野であり、課題調査を行って講義項目を方向付ける。 |
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