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授業科目名
担当教官
量子材料システム工学特論
佐藤 哲也
時間割番号
単位数
コース
履修年次
期別
曜日
時限
327130 2 (未登録) 1 後期 II
[概要と目標]
 ナノスケールサイズの量子材料の設計法について講義する。これらの材料を複合化し、高次機能をもった新しいシステム材料を創製するために必要な基礎学力を養成する。プラズマ放電の基本原理と薄膜プロセスの基礎について習得する。アモルファスシリコン物性や薄膜太陽光電池材料の合成法、ナノデバイスの作成法等について講義する。
[必要知識・準備]
物理化学、無機化学、固体物理に関する基礎知識
[評価基準]
課題レポート(50%)、定期試験(50%)により評価する。
[教科書]
  1. Michael A.Lieberman and Allan J.Lichetenberg/訳者 佐藤久明, プラズマ/プロセスの原理 (Principles of plasma discharges and materials processing), EDリサーチ社
[参考書]
  1. 清水立生, アモルファス半導体, 培風館, ISBN:4-563-03602-1
  2. 太陽エネルギー工学, 培風館, ISBN:456303603X
  3. 山本良一, 多層膜薄膜と材料開発, シーエムシー, ISBN:4-88231-774-5
[講義項目]
1.水素化アモルファスシリコン
2.薄膜太陽電池
3.低気圧、弱電プラズマ
4.気体および表面物理と化学運動
5.プラズマ放電
6.プラズマ・プロセス
7.ナノ材料・ナノデバイス