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授業科目名
担当教官
負イオン工学特論
(本年度非開講)
石川 稜威男
時間割番号
単位数
コース
履修年次
期別
曜日
時限
414730 2 (未登録) 1・2 (未登録) (未登録) (未登録)
[概要と目標]
負イオンを含む放電プラズマは半導体集積回路の微細加工、無機アモルファス材料やプラスチック製機能部品の表面改質等に広く用いられており、現代社会を維持するための基盤技術の一つとなっている。医療分野における負イオンプラズマの用途としては直接的には医療器具や医療環境の滅菌または殺菌が考えられ、間接的には人工関節や生体への各種インプラント材の微細加工や表面の改質等が考えられる。これらの用途には酸素またはハロゲン系化合物ガスにおける放電プラズマ処理が不可欠であり、専門的な知識が必要となる。ここでは負イオンを含む放電プラズマの生成と診断を中心に解説する。
[必要知識・準備]
(未登録)
[評価基準]
(未登録)
[教科書]
[参考書]
[講義項目]
(未登録)