授業科目名				担当教官
マイクロ材料科学特論				近藤　英一
時間割番号	単位数	コース	履修年次	期別	曜日	時限
321141	2	(未登録)	1	後期	木	III
［概要と目標］
半導体集積回路やマイクロマシンなど、マイクロ・ナノテクノロジーは現代情報社会において欠くことのできないものとなっている。マイクロ〜ナノさらにピコ領域ではわれわれが普段目にする材料であっても、製造・加工方法のみならず物理・化学的特性が異なってくる。本講では、このような微小スケールにおける材料の科学の基礎を、とくに薄膜材料を通じて学ぶことを目標とする。
［必要知識・準備］
材料科学一般、材料力学、固体物理、物理化学、電子材料工学など。
［評価基準］
出席およびレポート
［教科書］
［参考書］
［講義項目］
(未登録)