授業科目名	機器分析特別講義ＩＤ
時間割番号	TPC406
担当教員名	佐藤　哲也／篠塚　郷貴
開講学期・曜日・時限	集中・(未登録)・(未登録)	単位数	1
＜対象学生＞
機器分析センター科目
＜授業の目的＞
Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）は固体表面にＸ線を照射して励起・放出される光電子のエネルギーを分析することにより、様々な固体材料の表面化学状態分析を容易に行うことができる。ＸＰＳの原理を学び、装置の操作方法およびスペクトル解析法を習得する。
＜本授業科目による獲得・涵養が特に期待されるコンピテンシー＞（能力・資質）
工学部>機械工学科向け 工学部>電気電子工学科向け 工学部>コンピュータ理工学科向け 工学部>メカトロニクス工学科向け 工学部>土木環境工学科向け 工学部>応用化学科向け 記号 コンピテンシー（能力・資質）   AC-A 専門 4.化学の専門知識・技術を活用し、新素材・エネルギー・環境等の分野における問題解決に取り組むことができる。 C.分析化学 C3.吸光光度分析法、蛍光分析法、化学発光法、原子スペクトル分析法（原子吸光法、フレーム分析法、発光分光法）、電気化学分析法、Ｘ線分析法、質量分析法、熱分析法を説明できる。 ◎ 工学部>先端材料理工学科向け 記号 コンピテンシー（能力・資質）   AM-A 専門 1.基礎的知識 化学 ○ AM-B 2.専門的知識・技術 材料科学 ◎ AM-C 3.汎用能力 卒業論文 ○
＜到達目標＞  到達目標とは
目標NO 説明 コンピテンシーとの対応 AC AM 1 １．Ｘ線光電子分光法の理論、スぺクトルの物理化学的な意味、測定原理について説明できる。 AC-A AM-A 2 ２．測定装置の構造と動作原理を理解し、適切に操作することができる。 AC-A AM-B 3 ３．測定データの解析方法を理解し、ソフトウエアを適切に使い、必要な情報を得ることが出来る。 AC-A AM-C
＜成績評価の方法＞
目標No 割合 評価の観点 1 20% Ｘ線光電子分光スぺクトルの物理化学的な理論、測定原理について適切に説明/記述することができる。 2 50% 真空装置、試料ホルダー、X線源、検出器、イオン銃、中和銃等、正しく操作することができる。 3 30% スペクトルの帰属、波形分離、化学組成、帯電補正、ベースライン補正など正しく解析することができる。 合計 100%
＜授業の方法＞
XPSの原理について事前学習して臨む。装置の操作マニュアルに従い指導する。得られたデータを専用解析ソフトウエアを使い自身で解析できることを目指す。 「面接授業」を基本とし、CVID-19感染症拡大の場合には、「ライブ型」もしくは「オンデマンド型」で実施する。
＜受講に際して・学生へのメッセージ＞
真空技術、表面科学の基礎知識が必要。操作手順だけを暗記しているとトラブルの原因になる。操作・手順の意味を理解する。 分光学的な表記に関して、物理化学の基礎が不可欠です。
＜テキスト＞
(未登録)
＜参考書＞
高桑雄二編著　（日本分光学会）, Ｘ線光電子分光法, 講談社, ISBN:978-4-06-514047-5, (分光法シリーズ６)
＜授業計画の概要＞
1 タイトル Ｘ線光電子分光法の理論、装置動作原理 事前学習 事後学習 参考図書の関連個所を一読する。 授業内容 Ｘ線光電子分光法の理論、スぺクトルの物理化学的な意味、装置動作原理について概説する。　 2 タイトル XPS装置の使用法１ 事前学習 事後学習 機器分析センターのXPS操作マニュアルを事前、事後学習する。 授業内容 真空装置、試料ホルダー、X線源（Mg）、検出器、イオン銃、中和銃等、の起動法、スペクトル測定、装置立ち下げ方、を説明し、標準サンプル等を用いて実測し、操作法を習得する。 3 タイトル XPS装置の使用法２ 事前学習 事後学習 機器分析センターのXPS操作マニュアルを事前、事後学習する。 授業内容 ソフトウエアの操作法を学習し、スペクトルの各種解析法（元素表示、mark、半値幅、組成分析、帯電補正法、など）を習得する。 4 タイトル XPS装置の使用法3 事前学習 事後学習 機器分析センターのXPS操作マニュアルを事前、事後学習する。 授業内容 Arイオン銃の取り扱い方、深さ方向分析法を習得する。 蛍光板やアパーチャーを用いた、イオンビーム焦点位置の調整・確認法を習得する。 5 タイトル XPS装置の使用法4 事前学習 事後学習 機器分析センターのXPS操作マニュアルを事前、事後学習する。 授業内容 Arイオン銃を使用し、実際に深さ方向分析測定を行う。SiO2換算エッチングレートを算出する。 6 タイトル XPS装置の使用法4 事前学習 事後学習 機器分析センターのXPS操作マニュアルを事前、事後学習する。 授業内容 Al（Kα）X線源の操作法、エネルギー分解能の評価法についてAg標準試料を使い測定・解析する。Si,SiOなど標準基板を用いて、波形分離について習得する。 7 タイトル XPS装置の使用法5 事前学習 事後学習 機器分析センターのXPS操作マニュアルを事前、事後学習する。 授業内容 スペクトル解析ソフトの使用法について概説する。実測スペクトルの解析を通して、種々の解析法を学ぶ。 8 タイトル 評価・総括 事前学習 事後学習 機器分析センターのXPS操作マニュアルを事前、事後学習する。 授業内容 操作法、測定データ解析法が適切か評価する。 トラブル発生時の対応法について学ぶ。 9 タイトル 　 事前学習 事後学習 　　 授業内容 　 10 タイトル 　　 事前学習 事後学習 　　 授業内容 　　 11 タイトル 　　 事前学習 事後学習 　　 授業内容 　　 12 タイトル 　 事前学習 事後学習 　 授業内容 　 13 タイトル 　 事前学習 事後学習 　 授業内容 　 14 タイトル 　 事前学習 事後学習 　 授業内容 　 15 タイトル 　 事前学習 事後学習 　 授業内容 　 16 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 17 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 18 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 19 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 20 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 21 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 22 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 23 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 24 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 25 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 26 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 27 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 28 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 29 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 30 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容
＜備考＞
(未登録)