授業科目名	半導体プロセス工学
時間割番号	TAM318
担当教員名	近藤　英一
開講学期・曜日・時限	後期・水・II	単位数	2
＜対象学生＞
(未登録)
＜授業の目的＞
☆キャッチフレーズ☆ 　「気体を工具につかう！？」ナノ加工を習得して一歩リード 平面ＴＶ，コンピューター，携帯電話，ゲーム機器などなどなど...　日本の工業の牽引力は，情報機器の製造技術なのです。そこに使われている中心・最高の技術がマイクロ加工・ナノ加工技術なのです。 　授業では，「ドライプロセス」を中心に講義します。これは現在工業的に用いられている唯一の超微細加工技術で，非常に大きな産業規模をもっています。皆さんがこの知識を得ることは，現代の材料エンジニアになるためには必須と考えています。含まれる技術は多岐にわたるので、用いられる代表的な物理・化学手法のいくつかをとりあげ、その基本について説明します。
＜本授業科目による獲得・涵養が特に期待されるコンピテンシー＞（能力・資質）
工学部>先端材料理工学科向け 記号 コンピテンシー（能力・資質）   AM-A 専門 2.専門的知識・技術 材料科学 ○ AM-B 量子デバイス ◎
＜到達目標＞  到達目標とは
目標NO 説明 コンピテンシーとの対応 AM 1 以下について用語や数式を理解し，図を用いて論述でき，かつ教科書の章末問題（標準問題集兼）および授業中に出題する問題について独力で解けること。それらについて問う試験で６０％以上の得点が得られること。 AM-B 2 　気体の状態方程式をもとに分子密度，分子速度の関係を導出できる AM-B 3 　気体分子のエネルギーを求める式を理解している AM-B 4 　気体の入射流束を求めることができる AM-B 5 　真空装置の原理と構造を理解し記述できる AM-A 6 　荷電粒子の電界による加速を理解している　エネルギーを求めることができる AM-B 7 　粒子間の衝突とエネルギー転移を数式を用いて記述できる AM-B 8 　非弾性衝突過程，表面に入射した粒子の過程を記述できる AM-B 9 　プラズマの状態と内部での物理現象 AM-B 10 　プラズマを使った加工の原理を理解し記述できる AM-A 11 　薄膜とその堆積方法・装置を記述できる AM-A 12 　フォトリソグラフィ工程やその材料について知識がある AM-A 13 　マイクロ加工工程を全体的に理解し，工程ごとの形状を記述できる AM-A
＜成績評価の方法＞
目標No 割合 評価の観点 1 80% ペーパー試験（与えららた課題を独力で解くことができる） 2 20% 講義中の演習にまじめに取り組む姿勢 3 % 4 % 5 % 6 % 7 % 8 % 9 % 10 % 11 % 12 % 13 % 合計 100%
＜授業の方法＞
物理、化学、および数学の知識が必要です。いずれも高校レベルでも十分です。 　極めて平易な内容なのですが，新奇に感じる概念・内容を多く含んでいますので，最初は難しく感じるかもしれません。物理系・化学系双方の学生に親しみの持てる内容と思います。奮って受講してください。 基本は対面講義とします。ライブオンラインで実施するばあには　【カメラON】　を指示することがある。カメラを利用できる環境で受講のこと。背景にフィルタやヴァーチャルは使用せず実際の環境が映ること。
＜受講に際して・学生へのメッセージ＞
他学部・他学科向けには解放科目（共通教養科目）として設定されています。さまざまな視点で楽しんでもらうのが主眼ですので知識を増やす目的で気楽に受講してください。 公欠・登校停止の場合は「欠席の救済」を行います。通院の証など欠席理由が客観的にわかるものを控えておくこと。本講義では追試、再試は行いません。試験公欠の場合でも同様です（全体で評価する）。
＜テキスト＞
近藤英一, 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工学の原理, 共立出版, ISBN:4320081544
＜参考書＞
(未登録)
＜授業計画の概要＞
1 タイトル 気体の密度と真空、状態方程式 事前学習 事後学習 予習 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 2 タイトル 気体の運動の速度とエネルギー 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 3 タイトル 平均自由行程と衝突確率 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 4 タイトル マックスウェルボルツマン方程式 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 5 タイトル 気体粒子の衝突 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 6 タイトル 非弾性衝突と弾性衝 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 7 タイトル 中間評価（試験形式）、ふりかえり 事前学習 事後学習 復習 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 8 タイトル プラズマ処理装置 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 9 タイトル 蒸着法 事前学習 事後学習 予習 復習 授業内容 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 10 タイトル 膜厚分布と薄膜の堆積過程 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 11 タイトル ウェットエッチとドライエッチ 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 12 タイトル ドライエッチングの速度 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 13 タイトル リソグラフィ技術とパターニング 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 14 タイトル 集積回路の構造と作成プロセス 事前学習 事後学習 前回課題を独力で解けるようになっておく。 進度に応じて教科書を読んでおく。 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 15 タイトル 総合評価（試験形式）、ふりかえり 事前学習 事後学習 過去問題に取り組む、演習課題の復習 授業内容 タイトルの内容を教科書に沿って説明、時間内演習 16 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 17 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 18 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 19 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 20 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 21 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 22 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 23 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 24 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 25 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 26 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 27 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 28 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 29 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容 30 タイトル 事前学習 事後学習 授業内容
＜実務経験のある教員による授業科目の概要＞
企業、海外研究所において半導体製造の研究開発に従事
＜備考＞
オフィスアワー　昼休み、月曜午後５--６時　A7-204教官室 ◆対面かオンラインかは履修者数で判断します。対面の場合でも１限の履修状況や通学事情によってはリアルタイムオンライン聴講も可とします。オンラインツールはzoomないしteamsを利用します。(9/14追記）