| 授業科目名 | 半導体プロセス工学 | ||||||||||||||
| 分類・系統 |   | ||||||||||||||
| 時間割番号 | TAMK18 | ||||||||||||||
| 担当教員名 | 近藤 英一 | ||||||||||||||
| 開講学期・曜日・時限 | 後期・水・II | 単位数 | 2 | ||||||||||||
| ＜対象学生＞ | |||||||||||||||
| 工学部先端材料理工学科学生以外 | |||||||||||||||
| ＜授業の目的＞ | |||||||||||||||
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☆キャッチフレーズ☆ 気体を工具に使う！？ナノ加工を楽しく理解しよう 工学部の卒業生の多くが，半導体や精密機器などいわゆる「ＩＴ関連製造業」に就職しています。平面ＴＶ，コンピューター，携帯電話，ゲーム機器，などなどなど... 日本の工業の牽引力は，情報機器の製造技術なのです。そこに使われている中心・最高の技術がマイクロ加工・ナノ加工技術なのです。 授業では，「気体を工具として用いる」という切り口で「ドライプロセス」を中心に講義します。これは現在工業的に用いられている唯一の超微細加工技術で，非常に大きな産業規模をもっています。したがって，皆さんが将来この分野に関わる可能性はとても高いといえるでしょう。含まれる技術は多岐にわたるので、用いられる代表的な物理・化学手法のいくつかをとりあげ、その基本について説明します。 |
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・ナノ領域のスケール感を理解する。 ・ナノ加工の基本ステップについて理解する。 |
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| ＜授業の方法＞ | |||||||||||||||
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板書中心ですが，スライド，ビデオなども利用します。 毎回小演習を行います。採点はしません。記載状況は受講態度点に反映します。 |
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| ＜成績評価の方法＞ | |||||||||||||||
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| ＜受講に際して・学生へのメッセージ＞ | |||||||||||||||
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本講は工学部先端材料理工学科向けに開講されている科目です。専門分野の知識は必要ではありませんが，高校の物理、化学の知識が必要です。数学は難しくはありませんが大学のごく初級の内容を含みます。 極めて平易な内容なのですが，新奇に感じる概念・内容を多く含んでいますので，最初は難しく感じるかもしれません。それでも，「わかりやすい」という感想をいただいています。学科向けの科目ですが，知識の幅が広がるように工夫しています。物理系・化学系双方の学生に親しみの持てる内容と思います。奮って受講してください。 なお、着席について指示しますので、了解の上受講してください。 |
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| ＜テキスト＞ | |||||||||||||||
| ＜参考書＞ | |||||||||||||||
| (未登録) | |||||||||||||||
| ＜授業計画の概要＞ | |||||||||||||||
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１，気体の密度と真空、状態方程式 ２，気体の運動の速度とエネルギー ３，平均自由行程と衝突確率 ４，マックスウェルボルツマン方程式 ５，気体粒子の衝突 ６，非弾性衝突と弾性衝 ７，中間評価、ふりかえり ８，プラズマ処理装置 ９，蒸着法 １０，膜厚分布と薄膜の堆積過程 １１，ウェットエッチとドライエッチ １２，ドライエッチングの速度 １３，リソグラフィ技術とパターニング １４，集積回路の構造と作成プロセス １５，総合評価、ふりかえり オフィスアワー 毎日昼休み ＆ 月曜 午後５--６時 A7-204教官室 |
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| ＜実務経験のある教員による授業科目の概要＞ | |||||||||||||||
| 担当教員は、企業ならびに外国の研究所で半導体製造プロセスの研究開発の勤務経験があり、それらに基づく知識や実際を講義に反映させます。 | |||||||||||||||
| ＜JABEEプログラムの学習・教育目標との対応＞ | |||||||||||||||
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