授業科目名				担当教員
量子材料科学特論				近藤　英一／佐藤　哲也／小川　和也
時間割番号	単位数	コース	履修年次	期別	曜日	時限
GTZ505	2	(未登録)	1	前期	木	II
［概要と目標］
薄膜・ナノ材料の創製法、有機エレクトロニクス・フォトニクス材料の特性および物性評価について講義する。また、微細加工技術について気相利用技術やリソグラフィ、微細化に伴う材料物性の変化、微細構造物の物性評価技術についても学ぶ。さらに、色素増感太陽電池や有機非線形光学材料などの有機エレクトロニクス・フォトニクス材料の設計に必要な分子論、特性評価に必要な光化学について講義する。
[到達目標]
・微細加工プロセスのフローと各工程の物理的・化学的原理について理解する。 ・放電現象やプラズマに関する物理・化学の基本原理について理解する。 ・薄膜材料、微細構造物の物性評価法について理解する。 ・色素増感太陽電池と有機非線形光学材料の原理を理解する
［必要知識・準備］
基礎化学、物理化学、量子化学、電磁気学の基礎知識。初学者にもわかりやすい教科書を使用し、予習を前提とした授業を行う。演習問題、レポート課題、小テストを課し、授業にて解説する。
［評価基準］
No 評価項目 割合 評価の観点 1 小テスト／レポート  50  % 論理的思考能力、問題設定／解決能力 、自発的勉学  2 受講態度  25  % 授業理解力、日常的勉学努力  3 発表／表現等  25  % 論理的思考能力、自発的勉学、表現力
［教科書］
(未登録)
［参考書］
近藤英一, 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理, 共立出版, ISBN:4320081544 菅井秀郎　編著、大江一行, プラズマエレクトロニクス, オーム社, ISBN:4274132102 安達 千波矢 (編集), 有機半導体のデバイス物性, 講談社, ISBN:4061543547
［講義項目］
＊１〜５は近藤，６〜１０は佐藤，１１〜１５は小川が担当する．担当教員の順番は改めて指示・掲示する． １　気体を使った微細加工の原理：原理と特徴を理解する。 ２　気体分子の振る舞い：気体分子運動論の主要な式を理解し、実際の数値を用いて議できる。 ３　薄膜と蒸着：薄膜の特徴と作成の原理を理解する。 ４　エッチング加工：各種除去加工法の原理と特徴を理解する。 ５　リソグラフィ：各要素技術の原理と特徴を理解する。 ６　放電現象・プラズマとは ７　プラズマの生成法 ８　プラズマと固体表面の相互作用 ９　プラズマを利用したナノ構造・薄膜形成 １０　薄膜および微細構造物の物性評価 １１　有機機能材料に関する基礎 １２　有機非線形光学材料1　光カー効果 １３　有機非線形光学材料2　二光子吸収 １４　色素増感太陽電池 １５　評価および解説