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授業科目名
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担当教員
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マイクロ・ナノ材料工学特論
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近藤 英一
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 391550 D | 2 | (未登録) | 1 | 前期 | 月 | II | ||||||||||||
| ［概要と目標］ | ||||||||||||||||||
| 現在工業的に用いられている唯一の超微細加工技術である「ドライプロセス」について講義する。半導体、MEMS（マイクロマシン）などの加工技術の基礎と、特長、応用について学び、グリーンエネルギー変換電子デバイスの実際の製作プロセスの理論面に関する基礎知識を習得する。 | ||||||||||||||||||
| [到達目標] | ||||||||||||||||||
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以下について理解していること 気体の状態方程式をもとに分子密度，分子速度の関係を導出できる 気体分子のエネルギーを求める式を理解している 気体の入射流束を求めることができる 真空装置の原理と構造を理解し記述できる 荷電粒子の電界による加速を理解している エネルギーを求めることができる 粒子間の衝突とエネルギー転移を数式を用いて記述できる 非弾性衝突過程，表面に入射した粒子の過程を記述できる プラズマの状態と内部での物理現象 プラズマを使った加工の原理を理解し記述できる 薄膜とその堆積方法・装置を記述できる フォトリソグラフィ工程やその材料について知識がある マイクロ加工工程を全体的に理解し，工程ごとの形状を記述できる |
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| ［必要知識・準備］ | ||||||||||||||||||
| 基礎的な物理学の知識 ガイダンスを受講の上、履修を決めてください。 |
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| ［評価基準］ | ||||||||||||||||||
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| ［教科書］ | ||||||||||||||||||
| ［参考書］ | ||||||||||||||||||
| (未登録) | ||||||||||||||||||
| ［講義項目］ | ||||||||||||||||||
| １，気体の密度と真空、状態方程式：各パラメータを数値を用いて算出できる ２，気体の運動の速度とエネルギー：各パラメータを数値を用いて算出できる ３，平均自由行程と衝突確率：各パラメータを数値を用いて算出できる ４，マックスウェルボルツマン方程式：式の意味とパラメータ依存症を理解する ５，気体粒子の衝突：衝突断面積と衝突確率を理解する ６，非弾性衝突と弾性衝突：各保存則から非弾性衝突の式を導出できる。 ７，中間評価（試験形式）、ふりかえり ８，プラズマ処理装置：プラズマの性質と実プロセスの関係を理解する。 ９，蒸着法：薄膜の性質と蒸着法の意味を理解する。 １０，膜厚分布と薄膜の堆積過程：膜厚分布の理論式を算出できる。核発生の式を理解する。 １１，ウェットエッチとドライエッチ：各プロセスの用語と内容を理解する。 １２，ドライエッチングの速度：ラジカルエッチの理論速度を算出できる。 １３，リソグラフィ技術とパターニング：要素技術の原理を理解する。 １４，集積回路の構造と作成プロセス：各要素技術の関連と流れを理解する。 １５，総合評価（試験形式）、ふりかえり |
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