授業科目名				担当教員
エネルギー量子化学特論第二				佐藤　哲也
時間割番号	単位数	コース	履修年次	期別	曜日	時限
325716	2	(未登録)	1	前期	木	II
［概要と目標］
次世代の高度機能材料の創製には、ナノサイエンスとナノテクノロジーを融合したナノレベルで構造を制御するための超微細加工技術が重要な鍵を握る。「プラズマ工学」はその主要な役割を果たしており、プラズマ物理、表面科学、気相化学および原子・分子物理学など複数の分野を基盤としている。講義では、プラズマ中の物理・化学の基本原理から環境やエネルギー関連材料薄膜の創製法など具体的な応用を取りあげ、プラズマ全般の基礎を習得を目標とする。
[到達目標]
１．放電現象やプラズマに関する物理・化学の基本原理について理解する。<BR>２　プラズマ中の気相反応や固体表面における化学反応を理解する。<BR>３．プラズマを利用した応用技術について理解する。<BR>４．機能性薄膜や材料創製法としてのプラズマの利用法とその意義について理解する。
［必要知識・準備］
物理化学、量子化学、電磁気学の基礎知識。<BR>初学者にもわかりやすい教科書を使用し、予習を前提とした授業を行う。各章末の演習問題等を毎回小テストやレポート課題として課し、授業にて解説する。
［評価基準］
No 評価項目 割合 評価の観点 1 試験：期末期  10  % 論理的思考能力、問題設定／解決能力  2 試験：中間期  10  % 論理的思考能力、問題設定／解決能力  3 小テスト／レポート  50  % 授業理解力、日常的勉学努力、自発的勉学  4 受講態度  10  % 授業理解力、日常的勉学努力、自発的勉学  5 発表／表現等  20  % 知的好奇心と探求力、表現力
［教科書］
(未登録)
［参考書］
Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg （著）、堀　勝（監修）、佐藤久明（訳）　, プラズマ/プロセスの原理 （第2版）, 丸善, ISBN:978-4-621-08223-2 菅井秀郎　編著、大江一行　執筆, ＩＵ　プラズマエレクトロニクス, オーム社, ISBN:4274132102 Michael A. Lieberman, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing　（2nd Edition）, Wiley-Inter science, ISBN:978-0-471-72001-0
［講義項目］
１. プラズマとは (第1週)<BR>２．プラズマの発生形態と回路技術　(第2週)<BR>３．気体および荷電粒子の運動 (第3週)<BR>４．プラズマの発生、電界中の運動　(第4週)<BR>５．プラズマの集団的性質 (第5週)<BR>６．電子放出、プラズマの発生　(第6週)<BR>７．プラズマ計測 (第7週)<BR>８．環境改善へのプラズマ応用　(第8週)<BR>９．材料プロセスへのプラズマ応用 (第9週)<BR>10. 光源へのプラズマ応用 (第10週)<BR>11. 熱プラズマ加工技術 (第11週)<BR>12．応用I：太陽電池用水素化アモルファスシリコン薄膜合成 (第12週)<BR>13．応用II：カーボン薄膜の合成 (第13週)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　<BR>14．応用III：有機薄膜の合成 (第14週)<BR>15．総括・評価　(第15週)