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授業科目名
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担当教員
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プラズマエレクトロニクス特論
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秋津 哲也
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 327735 | 2 | (未登録) | 1 | 後期 | 水 | II | ||||||||
| ［概要と目標］ | ||||||||||||||
| 弱電離プラズマ工学の基礎となる科学技術として、真空中および気体中の電子の振る舞い、気体とプラズマ中の荷電粒子の熱統計力学などの基礎を学習し、これらをささえる真空技術と高電圧・パルスパワー工学の現状を概説する。専門的な知識として、電子の電界と衝突によって支配された輸送現象、プラズマの性質と諸現象およびプラズマ計測について学び、最近の技術の動向や応用技術について紹介する。 | ||||||||||||||
| [到達目標] | ||||||||||||||
| ◎知識と視野：電気工学・電子工学のマテリアル表面加工 | ||||||||||||||
| ［必要知識・準備］ | ||||||||||||||
| 電磁気学や熱力学 | ||||||||||||||
| ［評価基準］ | ||||||||||||||
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| ［教科書］ | ||||||||||||||
| ［参考書］ | ||||||||||||||
| ［講義項目］ | ||||||||||||||
| １．プラズマの特徴<BR>２． プラズマ発生と諸特性 1回目 荷電粒子の運動<BR>３． プラズマ発生と諸特性 2回目 デバイ遮蔽とプラズマ周波数<BR>４． プラズマ発生と諸特性 3回目 衝突と励起<BR>５． プラズマ中の集団現象 1回目 単一粒子の運動<BR>６． プラズマ中の集団現象 2回目 電磁界中の運動<BR>７． プラズマ中の集団現象 3回目 波動現象と不安定性<BR>８． 核エネルギーの解放<BR>９． プラズマ核融合 1回目 原理<BR>１０．プラズマ核融合 2回目 問題点<BR>１１．プラズマ核融合 3回目 研究の紹介<BR>１２．プラズママイクロプロセス 1回目 原理<BR>１３．プラズママイクロプロセス 2回目 問題点<BR>１４．プラズママイクロプロセス 3回目 プロセスの紹介<BR>１５．総括 | ||||||||||||||