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授業科目名
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担当教員
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プラズマエレクトロニクス特論
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秋津 哲也
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 327735 | 2 | (未登録) | 1 | 後期 | 水 | II | ||||||||||||
| ［概要と目標］ | ||||||||||||||||||
| 弱電離プラズマ工学の基礎となる科学技術として、真空中および気体中の電子の振る舞い、気体とプラズマ中の荷電粒子の熱統計力学などの基礎を学習し、これらをささえる真空技術と高電圧・パルスパワー工学の現状を概説する。専門的な知識として、電子の電界と衝突によって支配された輸送現象、プラズマの性質と諸現象およびプラズマ計測について学び、最近の技術の動向や応用技術について紹介する。 | ||||||||||||||||||
| [到達目標] | ||||||||||||||||||
| ◎知識と視野：電気工学・電子工学のマテリアル表面加工 | ||||||||||||||||||
| ［必要知識・準備］ | ||||||||||||||||||
| 電磁気学や熱力学 | ||||||||||||||||||
| ［評価基準］ | ||||||||||||||||||
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| ［教科書］ | ||||||||||||||||||
| ［参考書］ | ||||||||||||||||||
| ［講義項目］ | ||||||||||||||||||
| １．プラズマ化学反応の特徴<BR>２．大気圧プラズマの基礎<BR>３．発生と諸特性<BR>４．粒子設計と名の粒子合成<BR>５．ナノ粒子による生体防御<BR>６．表面改質と洗浄・改質<BR>７．濡れ性制御・接着改善<BR>８．中間時点でのまとめ<BR>９．シリコン薄膜の形成・酸化物・炭素膜の形成<BR>１０．エッチング・加工技術<BR>１１．プラズマＣＶＭ・カーボンナノチューブ合成<BR>１２．バイオ分野の応用・アルゴンプラズマによる凝固法<BR>１３．液中のプラズマプロセス<BR>１４．マイクロプラズマと材料プロセスへの応用<BR>１５．総括 | ||||||||||||||||||