授業科目名				担当教員
エネルギー量子化学特論第二				佐藤　哲也
時間割番号	単位数	コース	履修年次	期別	曜日	時限
325716	2	(未登録)	1	前期	木	II
［概要と目標］
次世代の高度機能材料の創製には、ナノサイエンスとナノテクノロジーを融合したナノレベルで構造を制御するための超微細加工技術が重要な鍵を握る。「プラズマ工学」はその主要な役割を果たしており、プラズマ物理、表面科学、気相化学および原子・分子物理学など複数の分野を基盤としている。講義では、プラズマ中の物理・化学の基本原理から薄膜材料創製の応用技術まで総合的に習得することを目標とする。
[到達目標]
１．放電現象やプラズマに関する物理・化学の基本原理について理解する。<BR>２　気相反応や固体表面における化学反応を理解する。<BR>３．プラズマを利用した薄膜合成法や表面改質法の基本原理について理解する。<BR>４．ナノ構造材料、エネルギー関連材料の創製法について理解する。
［必要知識・準備］
物理化学、量子化学、電磁気学の基礎知識。<BR>英語の教科書を使用しているため、予習を前提としている。
［評価基準］
No 評価項目 割合 評価の観点 1 試験：期末期  10  % 論理的思考能力、問題設定／解決能力  2 試験：中間期  10  % 論理的思考能力、問題設定／解決能力  3 小テスト／レポート  50  % 授業理解力、日常的勉学努力、自発的勉学  4 受講態度  10  % 授業理解力、日常的勉学努力、自発的勉学  5 発表／表現等  20  % 知的好奇心と探求力、表現力
［教科書］
(未登録)
［参考書］
Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg （著）、堀　勝（監修）、佐藤久明（訳）　, プラズマ/プロセスの原理 （第2版）, 丸善, ISBN:978-4-621-08223-2 菅井秀郎　編著、大江一行　執筆, ＩＵ　プラズマエレクトロニクス, オーム社, ISBN:4274132102 行村　建, EE Text 放電プラズマ工学, オーム社, ISBN:9784274205262 Michael A. Lieberman, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing　（2nd Edition）, Wiley-Inter science, ISBN:978-0-471-72001-0
［講義項目］
１. 序論 (第1週)<BR>２．プラズマの基礎方程式と平衡状態 (第2週)<BR>３．原子との衝突　(第3週)<BR>４．プラズマの運動論 (第4週)<BR>５．プラズマの拡散と輸送 (第5週)<BR>６．直流放電とシース　(第6週)<BR>７．化学反応と平衡状態 (第7週)<BR>８．分子との衝突　(第7週)<BR>９．化学運動論と表面プロセス(第8週)<BR>10. 放電中の粒子バランスおよびエネルギーバランス (第8週)<BR>11. 容量性放電(第9週)<BR>12．誘導性放電 (第9週)<BR>13．電磁波加熱放電(第10週)<BR>14. 直流放電(第10週)<BR>15・エッチング(第11週)<BR>16. 堆積とイン注入(第12週)<BR>17. ダストがあるプラズマ (第13週)<BR>18. 放電の運動理論 (第13週)<BR>19．応用I：薄膜太陽電池用水素化アモルファスシリコンの合成 (第14週)<BR>20．応用II：温室効果ガスの分解(第14週)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　<BR>21．応用III：量子デバイス創製 (第15週)<BR>22．総括・評価　(第15週)