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授業科目名
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指導教員
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量子物理化学特論
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入江 寛／佐藤 哲也
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 416730 | 2 | (未登録) | 1 | 前期 | 木 | I | ||||||||||||||||
| ［概要と目標］ | ||||||||||||||||||||||
| 次世代の高機能材料の創製には、ナノサイエンスとナノテクノロジーを融合したナノ構造創製技術が求められている。プラズマプロセスや種々の化学工学プロセスを利用した成膜技術、エッチング技術など、ナノ構造材料の創製に重要な基盤技術について講義する。 | ||||||||||||||||||||||
| [到達目標] | ||||||||||||||||||||||
| １）プラズマの基礎、２）低速イオンおよび電子と固体表面（金属、半導体、ファンデルワールス薄膜）の衝突反応（電子励起、二次イオン生成、表面化学反応）、３）ナノ構造/薄膜形成と物性評価、について習得する。 | ||||||||||||||||||||||
| ［専攻の目標と講義の目標との関連性］ | ||||||||||||||||||||||
| 学部、修士課程で習得した物理化学、分析化学、無機化学、材料化学に関する基礎知識を整理し、太陽エネルギー変換工学における具体的な課題を解決するために必要な、高度な専門知識と問題解決能力を養う。 | ||||||||||||||||||||||
| ［必要知識・準備］ | ||||||||||||||||||||||
| 物理化学、無機化学。固体物理学、電磁気学に関する基礎知識。 | ||||||||||||||||||||||
| ［評価基準］ | ||||||||||||||||||||||
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| ［教科書］ | ||||||||||||||||||||||
| (未登録) | ||||||||||||||||||||||
| ［参考書］ | ||||||||||||||||||||||
| ［講義項目］ | ||||||||||||||||||||||
| １. 身近にあるプラズマ (第1週)<BR>２．単一粒子の運動 (第2週)<BR>３．衝突、原子・分子の励起 (第3週)<BR>４．分布関数と平均量、プラズマの基礎方程式 (第4週)<BR>５．プラズマの分布と流れ、固体と接するプラズマ (第5週)<BR>６．気体の絶縁破壊、放電開始電圧 (第6週)<BR>７．プラズマ状態への移行、タウンゼント理論の限界 (第7週)<BR>８．直流放電、高周波放電、マイクロ波放電 (第8,9 週)<BR>９．エレクトロニクスと環境工学へのプラズマ応用 (第10, 11週)<BR>1０．水素化アモルファスシリコンの形成と物性 (第12週)<BR>１１．薄膜シリコン太陽電池 (第13週) <BR>１２．量子材料創製のためのナノテクノロジー (第14週)<BR>１３．総括・評価 (第15週) | ||||||||||||||||||||||