|
授業科目名
|
担当教員
|
|||||||||||||
|
プラズマエレクトロニクス特論
|
秋津 哲也
|
|||||||||||||
|
時間割番号
|
単位数
|
コース
|
履修年次
|
期別
|
曜日
|
時限
|
||||||||
| 327735 | 2 | (未登録) | 1 | 後期 | 水 | II | ||||||||
| ［概要と目標］ | ||||||||||||||
| 弱電離プラズマ工学の基礎となる科学技術として、真空中および気体中の電子の振る舞い、気体とプラズマ中の荷電粒子の熱統計力学などの基礎を学習し、これらをささえる真空技術と高電圧・パルスパワー工学の現状を概説する。専門的な知識として、電子の電界と衝突によって支配された輸送現象、プラズマの性質と諸現象およびプラズマ計測について学び、最近の技術の動向や応用技術について紹介する。 | ||||||||||||||
| [到達目標] | ||||||||||||||
| ◎知識と視野◎<BR>100％ | ||||||||||||||
| ［必要知識・準備］ | ||||||||||||||
| 電磁気学や熱力学 | ||||||||||||||
| ［評価基準］ | ||||||||||||||
|
||||||||||||||
| ［教科書］ | ||||||||||||||
|
||||||||||||||
| ［参考書］ | ||||||||||||||
| (未登録) | ||||||||||||||
| ［講義項目］ | ||||||||||||||
| １．プラズマ化学反応の特徴<BR>２．大気圧プラズマの基礎<BR>３．発生と諸特性<BR>４．粒子設計と名の粒子合成<BR>５．ナノ粒子による生体防御<BR>６．表面改質と洗浄・改質<BR>７．濡れ性制御・接着改善<BR>８．中間時点でのまとめ<BR>９．シリコン薄膜の形成・酸化物・炭素膜の形成<BR>１０．エッチング・加工技術<BR>１１．プラズマＣＶＭ・カーボンナノチューブ合成<BR>１２．バイオ分野の応用・アルゴンプラズマによる凝固法<BR>１３．液中のプラズマプロセス<BR>１４．マイクロプラズマと材料プロセスへの応用<BR>１５．総括 | ||||||||||||||