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授業科目名
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担当教員
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プラズマ工学特論
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秋津 哲也／村中 司
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 322034 | 2 | (未登録) | 1 | 前期 | 月 | II | ||||||||||||
| ［概要と目標］ | ||||||||||||||||||
| プラズマ工学の基礎となる科学技術として，真空中および気体中の電子現象，気体とプラズマの熱統計学、絶縁破壊やプラズマの基礎を学習し，これを支える真空技術と高電圧技術の現状を概説する。つづいて専門的な基礎知識として，輸送現象，プラズマの性質と諸現象およびプラズマ計測について学び，最近の技術の動向や科学の広がりなどをふまえ，プラズマ応用技術，半導体製造プロセス，プラズマと宇宙，プラズマと非線形現象，金属中の電子ガスとプラズマ振動などから受講生の興味に応じていくつかを解説する。 | ||||||||||||||||||
| [到達目標] | ||||||||||||||||||
| 気体の熱運動の速度分布関数が理解できること。<BR>気体温度と粒子の速度が理解できること<BR>この速度分布を使って、種々の粒子との衝突確率が計算できること<BR>プラズマ応用例についていくつか説明できること | ||||||||||||||||||
| ［必要知識・準備］ | ||||||||||||||||||
| 学部の電磁気学の知識を基礎とする。<BR> 授業で基礎的なことから始めるので、特に前もって準備する必要は無い。 | ||||||||||||||||||
| ［評価基準］ | ||||||||||||||||||
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| ［教科書］ | ||||||||||||||||||
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| ［参考書］ | ||||||||||||||||||
| (未登録) | ||||||||||||||||||
| ［講義項目］ | ||||||||||||||||||
| 基礎 <BR>電子現象（電磁場中の荷電粒子の運動，連続の式，ドリフト運動と移動度）<BR>気体の熱統計学（気体の状態と原子分子衝突，電離と再結合、速度分布と統計）<BR>絶縁破壊とグロー放電<BR>さまざまな気体とプラズマ<BR>プラズマと発光現象（原子スペクトルと電子励起）<BR>デバイしゃへい<BR>真空技術と高電圧技術<BR><BR> 専門 <BR>気体の熱統計学（輸送現象と拡散）<BR>プラズマの性質（集団運動とマクロな相，誘電率）<BR>プラズマ振動 <BR>相転移と安定性・不安定性、波動、電磁波の伝搬）<BR>プラズマ計測 <BR><BR> 話題（いくつかを選択する）：<BR>プラズマ応用技術（蛍光管，ディスプレイ，核融合）<BR>プラズマと加工や表面処理（プラズマ加工，半導体製造プロセス）<BR>プラズマと宇宙<BR>プラズマと非線形現象<BR>金属中の電子ガスとプラズマ振動<BR> | ||||||||||||||||||