授業科目名				担当教員
マイクロ加工学				近藤　英一
時間割番号	単位数	コース	履修年次	期別	曜日	時限
271150	2	I	3	後期	金	I
［概要］
☆キャッチフレーズ☆<BR>　「気体を工具につかう！？」ナノ加工を習得して一歩リード<BR><BR>　皆さんは，「機械」にどんなイメージを持っているのでしょう。そして将来どんなエンジニアになると考えているでしょうか。「“機械系”学科に入ったのだから，就職したら“機械”の会社のエンジニアになるのかなぁ　例えば自動車やその部品かな...”と漠然と考えているでしょうか？　とんでもない！！<BR><BR>　Ｉコースの卒業生の大半は，半導体や精密機器などいわゆる「ＩＴ関連製造業」に就職しています。平面ＴＶ，コンピューター，携帯電話，ゲーム機器などなどなど...　日本の工業の牽引力は，情報機器の製造技術なのです。そこに使われている中心・最高の技術がマイクロ加工・ナノ加工技術なのです。<BR><BR>　授業では，「ドライプロセス」を中心に講義します。これは現在工業的に用いられている唯一の超微細加工技術で，非常に大きな産業規模をもっています。皆さんがこの知識を得ることは，現代の“機械系・精密系”エンジニアになるためには必須と考えています。含まれる技術は多岐にわたるので、用いられる代表的な物理・化学手法のいくつかをとりあげ、その基本について説明します。
［具体的な達成目標］
以下について用語や数式を理解し，図を用いて論述でき，かつ教科書の章末問題（標準問題集兼）および授業中に出題する問題について独力で解けること。それらについて問う試験で６０％以上の得点が得られること。<BR>　気体の状態方程式をもとに分子密度，分子速度の関係を導出できる<BR>　気体分子のエネルギーを求める式を理解している<BR>　気体の入射流束を求めることができる<BR>　真空装置の原理と構造を理解し記述できる<BR>　荷電粒子の電界による加速を理解している　エネルギーを求めることができる<BR>　粒子間の衝突とエネルギー転移を数式を用いて記述できる<BR>　非弾性衝突過程，表面に入射した粒子の過程を記述できる<BR>　プラズマの状態と内部での物理現象<BR>　プラズマを使った加工の原理を理解し記述できる<BR>　薄膜とその堆積方法・装置を記述できる<BR>　フォトリソグラフィ工程やその材料について知識がある<BR>　マイクロ加工工程を全体的に理解し，工程ごとの形状を記述できる
［必要知識・準備］
物理および数学の知識が必要である。物理は，高校の物理I，IIの知識で十分であるが，入試問題で出題されないような内容・概念を取り扱うので，入試で選択したからよいなどと思わず，高校の教科書を準備し復習しておくこと。特に力学，電磁気学，熱力学は入念に学習しておくこと。数学は大学初級の微積分学（ベクトルの概念を含む）程度である。
［評価方法・評価基準］
No 評価項目 割合 評価の観点 1 試験：期末期  40  % 達成目標，教育方法に記載，範囲は中間試験以降の内容  2 試験：中間期  40  % 達成目標，教育方法に記載  3 受講態度  20  % 毎回の小演習に対する取り組み
［教科書］
近藤英一, 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工学の原理, 共立出版, ISBN:4320081544
［参考書］
超微細加工技術, オーム社, ISBN:427402332X 超微細加工の基礎, 日刊工業新聞社, ISBN:4526048127
［講義項目］
１，気体の密度と真空、状態方程式<BR>　　２，気体の運動の速度とエネルギー<BR>　　３，平均自由行程と衝突確率<BR>　　４，マックスウェルボルツマン方程式<BR>　　５，気体粒子の衝突<BR>　　６，非弾性衝突と弾性衝<BR>　　７，中間評価（試験形式）<BR>　　８，プラズマ処理装置<BR>　　９，蒸着法<BR>　　１０，膜厚分布と薄膜の堆積過程<BR>　　１１，ウェットエッチとドライエッチ<BR>　　１２，ドライエッチングの速度<BR>　　１３，リソグラフィ技術とパターニング<BR>　　１４，集積回路の構造と作成プロセス<BR>　　１５，総合評価（試験形式）
［教育方法］
教科書に沿って講義を行うが，ＯＨＰやスライドなどを併用する。ＯＨＰやスライドは紙芝居ではなく黒板と同等であるので十分にノートすること。ビデオ教材により実際の現場を見る。<BR><BR>毎回「小演習」を行います。毎回回収・点検後返却します。この小演習の解答内容自体（正解不正解）は採点・評価しませんが，演習への取組状況は平常点として評価します。詳しくはガイダンスで説明します。
［JABEEプログラムの学習・教育目標との対応］
《機械システム工学科機械情報コース》 (B)工学のための基礎知識 機械工学を学ぶ上で基盤となる数学、物理や化学などの自然科学と情報技術の基礎知識を習得し、これらを機械工学へ活用できる能力を身につける。 ◎ （C）機械工学の専門基礎知識 機械工学についての基礎知識を修得し、これらの知識を活用することにより機械工学に関連する諸課題を創造的に展開する能力を身につける。 ◎ (D）デザインとものづくり 修得した機械工学の専門基礎知識を活用し、与えられた制約条件のもとでデザインやものづくりを合理的かつ効率的におこなう能力を身につける。 ◎
［その他］
オフィスアワー　昼休み、月曜午後５--６時　A7-204教官室<BR><BR>特別試験の実施基準（本科目の基準）<BR>１）最終成績の平均点が７０点以下<BR>　　かつ<BR>２）対象者（５０点以上）が５名以上<BR>理由：試験の難易度は年によって振れがありますし，学年によっても出来不出来は違います。ですから，平均点が低い場合には救済的に特別試験を実施します。その場合には対象者も当然多くなります。単に不勉強な少数の学生を救済するのでは一生懸命勉強した皆さんにも失礼にあたるとおもいまして。