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授業科目名
指導教員
量子物理化学特論
入江 寛/佐藤 哲也
時間割番号
単位数
コース
履修年次
期別
曜日
時限
416730 2 (未登録) 1 前期 I
[概要と目標]
 次世代の高機能材料の創製には、ナノサイエンスとナノテクノロジーを融合したナノ構造創製技術が求められている。プラズマプロセスや種々の化学工学プロセスを利用した成膜技術、エッチング技術など、ナノ構造材料の創製に重要な基盤技術について講義する。 
[到達目標]
1)プラズマの基礎、2)低速イオンおよび電子と固体表面(金属、半導体、ファンデルワールス薄膜)の衝突反応(電子励起、二次イオン生成、表面化学反応)、3)ナノ構造/薄膜形成と物性評価、について習得する。
[専攻の目標と講義の目標との関連性]
学部、修士課程で習得した物理化学、分析化学、無機化学、材料化学に関する基礎知識を整理し、太陽エネルギー変換工学における具体的な課題を解決するために必要な、高度な専門知識と問題解決能力を養う。
[必要知識・準備]
物理化学、無機化学。固体物理学、電磁気学に関する基礎知識。
[評価基準]
No評価項目割合評価の観点
1小テスト/レポート課題 60  %授業理解力、論理的思考能力、問題設定/解決能力、日常的勉学努力、自発的勉学、知的好奇心と探求力、情報収集/整理力 
2平常点/受講態度 40  %授業理解力 
[教科書]
(未登録)
[参考書]
  1. 菅井秀郎, プラズマエレクトロニクス, オーム社, ISBN:4274132102
[講義項目]
1.プラズマの基礎 (第1〜4週)<BR>2.低速電子・イオンと固体の衝突 (第5〜8週)<BR>3.ナノ構造/薄膜形成と表面分析(第9〜15週)