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授業科目名
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指導教員
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量子物理化学特論
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入江 寛/佐藤 哲也
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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416730 | 2 | (未登録) | 1 | 前期 | 木 | I | ||||||||||||
[概要と目標] | ||||||||||||||||||
次世代の高機能材料の創製には、ナノサイエンスとナノテクノロジーを融合したナノ構造創製技術が求められている。プラズマプロセスや種々の化学工学プロセスを利用した成膜技術、エッチング技術など、ナノ構造材料の創製に重要な基盤技術について講義する。 | ||||||||||||||||||
[到達目標] | ||||||||||||||||||
1)プラズマの基礎、2)低速イオンおよび電子と固体表面(金属、半導体、ファンデルワールス薄膜)の衝突反応(電子励起、二次イオン生成、表面化学反応)、3)ナノ構造/薄膜形成と物性評価、について習得する。 | ||||||||||||||||||
[専攻の目標と講義の目標との関連性] | ||||||||||||||||||
学部、修士課程で習得した物理化学、分析化学、無機化学、材料化学に関する基礎知識を整理し、太陽エネルギー変換工学における具体的な課題を解決するために必要な、高度な専門知識と問題解決能力を養う。 | ||||||||||||||||||
[必要知識・準備] | ||||||||||||||||||
物理化学、無機化学。固体物理学、電磁気学に関する基礎知識。 | ||||||||||||||||||
[評価基準] | ||||||||||||||||||
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[教科書] | ||||||||||||||||||
(未登録) | ||||||||||||||||||
[参考書] | ||||||||||||||||||
[講義項目] | ||||||||||||||||||
1.プラズマの基礎 (第1〜4週)<BR>2.低速電子・イオンと固体の衝突 (第5〜8週)<BR>3.ナノ構造/薄膜形成と表面分析(第9〜15週) |