山梨大学電子シラバス

授業科目名

マイクロ加工学

時間割番号

271150KA

担当教員名

近藤　英一

開講学期・曜日・時限

後期・金・I

単位数

＜対象学生＞

機械システム工学科以外

＜授業の目的および概要＞

☆キャッチフレーズ☆　気体を工具に使う！？ナノ加工を楽しく理解しよう 　工学部の卒業生の多くが，半導体や精密機器などいわゆる「ＩＴ関連製造業」に就職しています。平面ＴＶ，コンピューター，携帯電話，ゲーム機器，などなどなど...　日本の工業の牽引力は，情報機器の製造技術なのです。そこに使われている中心・最高の技術がマイクロ加工・ナノ加工技術なのです。 　授業では，「気体を工具として用いる」という切り口で「ドライプロセス」を中心に講義します。これは現在工業的に用いられている唯一の超微細加工技術で，非常に大きな産業規模をもっています。したがって，皆さんが将来この分野に関わる可能性はとても高いといえるでしょう。含まれる技術は多岐にわたるので、用いられる代表的な物理・化学手法のいくつかをとりあげ、その基本について説明します。

＜到達目標＞ 到達目標とは

No	重要度	目標	詳細
1	◎	知識と視野	ナノテクノロジーの基礎を物理的原理に基づき理解すること。

＜授業の方法＞

　講義中心ですが，OHPおよびビデオも利用します。

＜成績評価の方法＞

No	評価項目	割合	評価の観点
1	小テスト／レポート課題	80 %	主体的に聴講していることをレポートにより確認
2	平常点／受講態度	20 %	毎回の簡単な小演習の取り組み

＜受講に際して・学生へのメッセージ＞

本講は機械システム工学科機械情報コース向けに開講されている科目です。機械システム工学系の知識は必要ではありませんが，物理および数学の知識は必要です。物理は，高校の物理I，IIの知識で十分ですが，入試問題では出題されないような内容・概念を取り扱いますので，高校の教科書を準備し特に力学，電磁気学，熱力学を復習しておいてください。数学は大学のごく初級の内容です。 　極めて平易な内容なのですが，新奇に感じる概念・内容を多く含んでいますので，最初は難しく感じるかもしれません。それでも，「わかりやすい」という感想をいただいていますし，地道に取り組み課題を解いた学生は単位を取得しています。物理系・化学系双方の学生に親しみの持てる内容と思います。奮って受講してください。

＜テキスト＞

機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工学の原理, 共立出版, ISBN:4320081544

＜参考書＞

＜授業計画の概要＞

１　ガイダンス 　　２、３、４　真空と気体分子の運動論 　　５、６、７　プラズマの基礎 　　８、９、１０　物理蒸着法 　　１１、１２　エッチング技術 　　１３、１４　リソグラフィ技術とパターニング 　　１５　まとめ オフィスアワー　 毎日昼休み　＆　月曜　午後５--６時　A7-204教官室

＜JABEEプログラムの学習・教育目標との対応＞

《機械システム工学科機械デザインコース》
(A)【機械工学の意義】幸福・福祉の意義，自然と社会との係わりが理解でき，これらに及ぼす機械工学の影響が理解できる能力を身につける．	○
《コンピュータ・メディア工学科コンピュータサイエンスコース》
(A)情報処理技術者としての自らの活動が自然や社会，人に与える影響を理解し，問題解決にあたることができる知識と技術，およびコミュニケーションスキルを習得する	○
《コンピュータ・メディア工学科情報メディアコース》
(C) 科学技術が社会や自然に及ぼす影響や効果までを考慮できる多面的な地球的視野を会得し、国際的なコミュニケーションを可能とする基礎能力を修得する。	◎
《土木環境工学科》
A.技術者の責務の自覚　土木環境技術が人間社会や自然環境の変化に及ぼす効果・影響を理解し、自然と調和した人類の持続的発展のために土木環境技術者が果たすべき責務を自覚する。	○

[学生による授業評価アンケートに関する記述]

271150 マイクロ加工学をご覧ください。