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授業科目名
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指導教員
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量子物理化学特論
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平岡 賢三／佐藤 哲也
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 416730 | 2 | (未登録) | 1 | 前期 | 水 | II | ||||||||||||
| ［概要と目標］ | ||||||||||||||||||
| 次世代の高機能材料の創製には、ナノサイエンスとナノテクノロジーを融合したナノ構造創製技術が求められている。プラズを利用した成膜技術やエッチング技術はその重要な基幹技術である。ナノ構造材料を創製法するためには、収束した電子やイオンビームをはじめ運動エネルギーを付与した中性粒子と固体表面との相互作用を理解する。 | ||||||||||||||||||
| [到達目標] | ||||||||||||||||||
| １）プラズマの基礎、２）低速イオンおよび電子と固体表面（金属、半導体、ファンデルワールス薄膜）の衝突反応（電子励起、二次イオン生成、表面化学反応）、３）ナノ構造/薄膜形成法と表面分析法について習得する。 | ||||||||||||||||||
| ［専攻の目標と講義の目標との関連性］ | ||||||||||||||||||
| 学部、修士課程で習得した物理化学、分析化学、無機化学、材料化学に関する基礎知識を整理し、エネルギー工学および環境計測における具体的な課題を解決するために必要な、高度な専門知識と問題解決能力を養う。 | ||||||||||||||||||
| ［必要知識・準備］ | ||||||||||||||||||
| 物理化学、無機化学。固体物理学、電磁気学に関する基礎知識。 | ||||||||||||||||||
| ［評価基準］ | ||||||||||||||||||
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| ［教科書］ | ||||||||||||||||||
| (未登録) | ||||||||||||||||||
| ［参考書］ | ||||||||||||||||||
| ［講義項目］ | ||||||||||||||||||
| 1．プラズマの基礎<BR>2．低速電子・イオンと固体の衝突<BR>3．ナノ構造/薄膜形成技術と表面分析法 | ||||||||||||||||||