授業科目名				担当教員
マイクロ材料加工学特論				吉岡　正人／吉原　正一郎
時間割番号	単位数	コース	履修年次	期別	曜日	時限
327310	2	(未登録)	1	前期	月	II
［概要と目標］
生産加工技術の発展にともなって、加工の微細化が要求されている。加工単位が微小になればなるほど材料に対する微視的視点が必要になる。本科目は、加工における材料の変形、破壊の微視的メカニズムを中心に、マイクロ加工のさらなる高精度化のために必要な事項を概説する．
[到達目標]
近年，マイクロ加工が注目されており，特にMEMS（微小電気機械システム）の研究が活発に行なわれている．そこで，本講義では，MEMSについてその原理を学習し，最近の研究や今後の展開を考える．
［必要知識・準備］
講義の中で必要な基礎的知識は解説しながら講義を進めるので、とくに事前の準備は必要ない．
［評価基準］
No 評価項目 割合 評価の観点 1 小テスト／レポート課題  20  % 出席し，発表者の課題を評価・考察する．  2 平常点／出席点  80  % 与えられた課題をゼミ形式で発表する．
［教科書］
MEMSのはなし, 日刊工業新聞社, ISBN:4526054046, (とくに指定しない。)
［参考書］
(未登録)
［講義項目］
１．身近で活躍するMEMS<BR>２．MEMSの製造方法<BR>３．MEMSのパッケージ<BR>４．MEMSの製造のキーポイント<BR>５．MEMSにおける微細成形技術<BR>６．MEMSセンサ<BR>７．MEMSアクチュエーター<BR>８．MEMS設計・シミュレーションの実際<BR>９．フォトマスクの書き方