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授業科目名
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担当教員
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量子材料システム工学特論
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佐藤 哲也
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 327130 | 2 | (未登録) | 1 | 前期 | 火 | II | ||||||||||||||||||||
| ［概要と目標］ | ||||||||||||||||||||||||||
| 次世代の高度機能材料の創製には、ナノサイエンスとナノテクノロジーを融合したナノ構造創製技術が求められている。ナノ構造材料の創製には、プラズを利用した成膜やエッチング技術が重要な役割を果たしている。プラズマの基礎、ナノ構造創製法、半導体薄膜創製法、などについて習得することを目標とする。 | ||||||||||||||||||||||||||
| [到達目標] | ||||||||||||||||||||||||||
| １．プラズマ中における、電子・原子・分子の衝突過程を理解する。<BR>２．プラズマの基礎方程式を理解する。<BR>３．固体と接するプラズマを理解する。<BR>４．直流・高周波放電について理解する。<BR>５．プラズマ生成装置の仕組みを理解する<BR>６．プラズマを利用した材料化学について理解する。<BR>７．ナノ構造創製のためのプラズマ応用技術を理解する。 | ||||||||||||||||||||||||||
| ［必要知識・準備］ | ||||||||||||||||||||||||||
| 物理化学、無機化学、電磁気学に関する基礎知識。 | ||||||||||||||||||||||||||
| ［評価基準］ | ||||||||||||||||||||||||||
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| ［教科書］ | ||||||||||||||||||||||||||
| ［参考書］ | ||||||||||||||||||||||||||
| ［講義項目］ | ||||||||||||||||||||||||||
| １. 身近にあるプラズマ<BR>２．プラズマをミクロに見よう<BR>３．プラズマをマクロに見よう<BR>４．プラズマが生まれるまで<BR>５．プラズマのつくり方<BR>６．エレクトロニクスと環境工学へのプラズマ応用 | ||||||||||||||||||||||||||