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授業科目名
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担当教員
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マイクロ材料科学特論
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近藤 英一
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 321141 | 2 | (未登録) | 1 | 後期 | 月 | IV | ||||||||||||
| ［概要と目標］ | ||||||||||||||||||
| 半導体集積回路やマイクロマシンなど、マイクロ・ナノテクノロジーは現代情報社会において欠くことのできないものとなっている。マイクロ〜ナノさらにピコ領域ではわれわれが普段目にする材料であっても、製造・加工方法のみならず物理・化学的特性が異なってくる。 | ||||||||||||||||||
| [到達目標] | ||||||||||||||||||
| 本講では、このような微小スケールにおける材料の科学の基礎を、とくに薄膜材料を通じて学ぶことを目標とする。 | ||||||||||||||||||
| ［必要知識・準備］ | ||||||||||||||||||
| 材料科学一般、材料力学、固体物理、物理化学、電子材料工学など。 | ||||||||||||||||||
| ［評価基準］ | ||||||||||||||||||
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| ［教科書］ | ||||||||||||||||||
| ［参考書］ | ||||||||||||||||||
| (未登録) | ||||||||||||||||||
| ［講義項目］ | ||||||||||||||||||
| 気体運動論<BR>気体と固体表面の相互作用<BR>薄膜の成長と構造<BR>薄膜の物性<BR><BR>教科書を用いるが，さらに資料を適宜配布して進める。 | ||||||||||||||||||