授業科目名				担当教員
マイクロデバイス特論				加藤　初弘
時間割番号	単位数	コース	履修年次	期別	曜日	時限
321103	2	(未登録)	1	後期	木	IV
［概要と目標］
微細化の進展によってますます多様化するマイクロデバイスについて，加工の基礎から量子論的な効果までを論じる．工学的な利用が期待できる新しい現象に関しては文献購読の形で最新の話題を学ぶ．
[到達目標]
１）MOS構造の加工プロセス<BR>２）SRAMセルの構造とレイアウト<BR>３）波動現象の応用<BR>４）最新文献の購読
［必要知識・準備］
材料の結晶構造・電子状態に関する基礎概念．数学としては波動方程式に代表される基本的な微分方程式の解法に関する素養があることが望ましい．
［評価基準］
No 評価項目 割合 評価の観点 1 小テスト／レポート課題  50  % 考察の内容  2 発表／表現等  50  % 論文購読における解説
［教科書］
プリントを配布
［参考書］
(未登録)
［講義項目］
A.マイクロデバイスの加工と設計<BR>　１．微細加工のプロセス<BR>　２．トランジスタの構造と特性<BR>　３．集積回路の機能と設計<BR>B．新たな微細素子<BR>　１．電子の波動現象としての性質<BR>　２．熱・統計力学の基礎<BR>　３．ナノデバイスの特性　<BR>C.文献購読：次のテーマから文献を選んで輪講を行う<BR>　　新しい薄膜材料，半導体素子の高性能化，ナノ・分子デバイス，など