山梨大学電子シラバス

授業科目名

マイクロ加工学

時間割番号

271150KA

担当教員名

近藤　英一

開講学期・曜日・時限

後期・木・III

単位数

＜対象学生＞

機械システム工学科以外

＜授業の目的および概要＞

☆キャッチフレーズ☆　気体を工具に使う！？ナノ加工を楽しく理解しよう 　工学部の卒業生の多くが，半導体や精密機器などいわゆる「ＩＴ関連製造業」に就職しています。平面ＴＶ，コンピューター，携帯電話，ゲーム機器，などなどなど...　日本の工業の牽引力は，情報機器の製造技術なのです。そこに使われている中心・最高の技術がマイクロ加工・ナノ加工技術なのです。 　授業では，「気体を工具として用いる」という切り口で「ドライプロセス」を中心に講義します。これは現在工業的に用いられている唯一の超微細加工技術で，非常に大きな産業規模をもっています。したがって，皆さんが将来この分野に関わる可能性はとても高いといえるでしょう。含まれる技術は多岐にわたるので、用いられる代表的な物理・化学手法のいくつかをとりあげ、その基本について説明します。

＜到達目標＞

マイクロ・ナノ加工の原理を楽しく理解し，日常の情報機器に高度な技術が使われていることを知ることが目標です。

＜授業の方法＞

　講義中心ですが，OHPおよびビデオも利用します。

＜成績評価の方法＞

No	評価項目	割合	評価の観点
1	試験：定期試験	60 %	教科書をみながら独力で試験問題を解くことができる
2	試験：中間試験	20 %	教科書をみながら独力で試験問題を解くことができる
3	平常点／出席点	20 %	毎回の簡単な小演習の取り組み

＜受講に際して・学生へのメッセージ＞

本講は機械システム工学科機械情報コース向けに開講されている科目です。機械システム工学系の知識は必要ではありませんが，物理および数学の知識は必要です。物理は，高校の物理I，IIの知識で十分ですが，入試問題では出題されないような内容・概念を取り扱いますので，高校の教科書を準備し特に力学，電磁気学，熱力学を復習しておいてください。数学は大学のごく初級の内容です。 　極めて平易な内容なのですが，新奇に感じる概念・内容を多く含んでいますので，最初は難しく感じるかもしれません。それでも，「わかりやすい」という感想をいただいていますし，地道に取り組み課題を解いた学生は単位を取得しています。物理系・化学系双方の学生に親しみの持てる内容と思います。奮って受講してください。

＜テキスト＞

機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工学の原理, 共立出版, ISBN:4320081544

＜参考書＞

＜授業計画の概要＞

１．真空と気体分子の運動論 　　２．プラズマの基礎 　　２．物理蒸着法 　　３．薄膜の堆積過程 　　４．リソグラフィ技術とパターニング 　　５．エッチング技術 　　　　など