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授業科目名
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担当教員
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マイクロ加工学
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近藤 英一
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 271150 | 2 | I | 3 | 後期 | 木 | III |
| ［概要］ | ||||||
| 皆さんは，「機械」にどんなイメージを持っているのでしょう。そして将来どんなエンジニアになると考えているでしょうか。「“機械系”学科に入ったのだから，就職したら“機械”の会社のエンジニアになるのかなぁ 例えば自動車やその部品かな...”と漠然と考えているでしょうか？ とんでもない！！ Ｉコースの卒業生の大半は，半導体や精密機器などいわゆる「ＩＴ関連製造業」に就職しています。平面ＴＶ，コンピューター，携帯電話，ゲーム機器，などなどなど... 日本の工業の牽引力は，情報機器の製造技術なのです。そこに使われている中心・最高の技術がマイクロ加工・ナノ加工技術なのです。 授業では，「ドライプロセス」を中心に講義します。これは現在工業的に用いられている唯一の超微細加工技術で，非常に大きな産業規模をもっています。皆さんがこの知識を得ることは，現代の“機械系・精密系”エンジニアになるためには必須と考えています。含まれる技術は多岐にわたるので、用いられる代表的な物理・化学手法のいくつかをとりあげ、その基本について説明します。 |
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| ［具体的な達成目標］ | ||||||
| 以下について用語や数式を理解し，図を用いて論述でき，かつ教科書の章末問題（標準問題集兼）および授業中に出題する問題について独力で解けること。それらについて問う試験で６０％以上の得点が得られること。 気体の状態方程式をもとに分子密度，分子速度の関係を導出できる 気体分子のエネルギーを求める式を理解している 気体の入射流束を求めることができる 真空装置の原理と構造を理解し記述できる 荷電粒子の電界による加速を理解している エネルギーを求めることができる 粒子間の衝突とエネルギー転移を数式を用いて記述できる 非弾性衝突過程，表面に入射した粒子の過程を記述できる プラズマの状態と内部での物理現象 プラズマを使った加工の原理を理解し記述できる 薄膜とその堆積方法・装置を記述できる フォトリソグラフィ工程やその材料について知識がある マイクロ加工工程を全体的に理解し，工程ごとの形状を記述できる |
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| ［必要知識・準備］ | ||||||
| 物理および数学の知識が必要である。物理は，高校の物理I，IIの知識で十分であるが，入試問題で出題されないような内容・概念を取り扱うので，入試で選択したからよいなどと思わず，高校の教科書を準備し復習しておくこと。特に力学，電磁気学，熱力学は入念に学習しておくこと。数学は大学初級の微積分学（ベクトルの概念を含む）程度である。 | ||||||
| ［評価方法・評価基準］ | ||||||
| 評価は毎回の小テスト（演習）、中間試験、定期試験で行う予定である。比率はおおむね１：１：２であり、合格点（可）を６０点とする。 | ||||||
| ［教科書］ | ||||||
| ［参考書］ | ||||||
| ［講義項目］ | ||||||
| １，２．真空と気体分子の運動論 ３，４．プラズマの基礎 ５，６．物理蒸着法 ７，８．薄膜の堆積過程 ９，１０．リソグラフィ技術とパターニング １１，１２．エッチング技術 １３，集積回路の構造と作成プロセス １４ 定期試験 |
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| ［教育方法］ | ||||||
| 教科書に沿って講義を行うが，ＯＨＰやスライドなどを併用する。ＯＨＰやスライドは紙芝居ではなく黒板と同等であるので十分にノートすること。また，時間内に毎回小演習を行い問題を解く。ビデオ教材により実際の現場を見る。 | ||||||
| ［JABEEプログラムの学習・教育目標との対応］ | ||||||
| （ＪＡＢＥＥ機械情報工学プログラムの学習・教育目標）（１）（ｃ）◎（ｄ，ｇ）○ （ＪＡＢＥＥ個別キーワード）物理学の基礎，質点の力学，状態方程式，マイクロ・ナノ加工，産業機器・装置，表面加工，電子／電気デバイス製作，希薄気体 |
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| ［その他］ | ||||||
| オフィスアワー 木曜１７：００~１８：００ A7-204教官室 | ||||||