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授業科目名
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担当教官
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分子素子設計工学特論
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佐藤 哲也
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 416620 | 2 | (未登録) | 1 | 後期 | 火 | III |
| ［概要と目標］ | ||||||
| 次世代の高度機能材料の創製には、ナノサイエンスとナノテクノロジーを融合したナノ構造創製技術が求められている。ナノ構造材料の創製には、プラズを利用した成膜やエッチング技術が重要な役割を果たしている。プラズマの基礎について先ず講義を行い基礎学力を養成する。 収束イオンや収束電子線（100eV以下）を用いた電子誘起蒸着法は、表面近傍に高密度なミクロプラズマを利用した方法ととらえることができる。低速イオンおよび電子と固体表面（金属、半導体、ファンデルワールス薄膜）の衝突により生起される、電子励起、二次イオン生成、表面化学反応や原子・分子レベルでの薄膜形成過程を理解する。 |
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| ［必要知識・準備］ | ||||||
| パワーポイント、プリントなどを用いて、プラズマ、電子・原子・分子の衝突、固体物理に関すし分かりやすく講義する。 必要とする基礎知識：固体物理、物理化学 |
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| ［評価基準］ | ||||||
| レポート課題（80点）および小テスト（20点）の成績により評価する。 | ||||||
| ［教科書］ | ||||||
| ［参考書］ | ||||||
| (未登録) | ||||||
| ［講義項目］ | ||||||
| 1．プラズマの基礎と応用 2．低速電子と固体の衝突 3．低速イオンと固体の衝突 4．表面の電子励起 5．ビーム工学と表面分析 |
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