授業科目名				担当教官
プラズマ環境科学特論				秋津　哲也
時間割番号	単位数	コース	履修年次	期別	曜日	時限
414740 A	2	(未登録)	1	後期	金	V
［概要と目標］
プラズマ発生技術ならびに環境応用について学習する。 １．高周波大気圧グロー放電プラズマと誘電体バリヤー放電、両極性コロナ放電によるダウンフロー大気圧処理、マイクロ波励起表面波プラズマによる表面処理、Micro-Organismに対するクリーニングを原理の学習とともに、研究室内の設備を用いて体験学習する。 ２．マイクロ波励起ラジカル源、プラズマ・イマージョン・イオン・インプランテーションによるダイヤモンド膜の合成。原理の学習とともに、実験装置の立ち上げに寄与してプラズマ理工学的可能性を発見する。
［必要知識・準備］
プラズマ理工学に関する基礎的な知識
［評価基準］
レポートあるいは口頭試問による試験を行う
［教科書］
(未登録)
［参考書］
(未登録)
［講義項目］
(未登録)