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授業科目名
担当教官
マイクロ材料科学特論
近藤 英一
時間割番号
単位数
コース
履修年次
期別
曜日
時限
321141 2 (未登録) 1 後期 IV
[概要と目標]
半導体集積回路やマイクロマシンなど、マイクロ・ナノテクノロジーは現代情報社会において欠くことのできないものとなっている。マイクロ~ナノさらにピコ領域ではわれわれが普段目にする材料であっても、製造・加工方法のみならず物理・化学的特性が異なってくる。本講では、このような微小スケールにおける材料の科学の基礎を、とくに薄膜材料を通じて学ぶことを目標とする。
[必要知識・準備]
材料科学一般、材料力学、固体物理、物理化学、電子材料工学など。
[評価基準]
出席およびレポート
[教科書]
  1. 近藤英一, 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工学の原理, 共立出版, ISBN:4320081544
[参考書]
(未登録)
[講義項目]
気体運動論
気体と固体表面の相互作用
薄膜の成長と構造
薄膜の物性

教科書を用いるが,さらに資料を適宜配布して進める。