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授業科目名
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担当教官
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マイクロ材料科学特論
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近藤 英一
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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321141 | 2 | (未登録) | 1 | 後期 | 月 | IV |
[概要と目標] | ||||||
半導体集積回路やマイクロマシンなど、マイクロ・ナノテクノロジーは現代情報社会において欠くことのできないものとなっている。マイクロ~ナノさらにピコ領域ではわれわれが普段目にする材料であっても、製造・加工方法のみならず物理・化学的特性が異なってくる。本講では、このような微小スケールにおける材料の科学の基礎を、とくに薄膜材料を通じて学ぶことを目標とする。 | ||||||
[必要知識・準備] | ||||||
材料科学一般、材料力学、固体物理、物理化学、電子材料工学など。 | ||||||
[評価基準] | ||||||
出席およびレポート | ||||||
[教科書] | ||||||
[参考書] | ||||||
(未登録) | ||||||
[講義項目] | ||||||
気体運動論 気体と固体表面の相互作用 薄膜の成長と構造 薄膜の物性 教科書を用いるが,さらに資料を適宜配布して進める。 |