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授業科目名
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担当教官
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マイクロデバイス特論
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加藤 初弘
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時間割番号
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単位数
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コース
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履修年次
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期別
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曜日
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時限
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| 321103 | 2 | (未登録) | 1 | 後期 | 木 | IV |
| ［概要と目標］ | ||||||
| 微細化の進展によってますます多様化するマイクロデバイスについて，加工の基礎から量子論的な効果までを論じる．工学的な利用が期待できる新しい現象に関しては文献購読の形で最新の話題を学ぶ． | ||||||
| ［必要知識・準備］ | ||||||
| 材料の結晶構造・電子状態に関する基礎概念．数学としては波動方程式に代表される基本的な微分方程式の解法に関する素養があることが望ましい． | ||||||
| ［評価基準］ | ||||||
| 講義での質疑および，輪講時に作成するゼミ資料 | ||||||
| ［教科書］ | ||||||
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| ［参考書］ | ||||||
| (未登録) | ||||||
| ［講義項目］ | ||||||
| A.マイクロデバイスの基礎 1. 微細加工のプロセス ２．トランジスタの構造と特性 ３． 集積回路の設計 B．メソスコピックシステムの基礎 １．波動現象と量子 ２．熱・統計力学の基礎 ３．微細なシステムでの振動 C.文献購読：次のテーマから文献を選んで輪講を行う 新しいメモリ素子，ナノ構造と，有機分子と半導体デバイス，など |
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