| 授業科目名 | マイクロ加工学 | ||
| 時間割番号 | 271150KA | ||
| 担当教員名 | 近藤 英一 | ||
| 開講学期・曜日・時限 | 後期・木・III | 単位数 | 2 |
| ＜対象学生＞ | |||
| 機械システム工学科以外 | |||
| ＜授業の目的および概要＞ | |||
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工学部の卒業生の多くが，半導体や精密機器などいわゆる「ＩＴ関連製造業」に就職しています。平面ＴＶ，コンピューター，携帯電話，ゲーム機器，などなどなど... 日本の工業の牽引力は，情報機器の製造技術なのです。そこに使われている中心・最高の技術がマイクロ加工・ナノ加工技術なのです。 授業では，「気体を工具として用いる」という切り口で「ドライプロセス」を中心に講義します。これは現在工業的に用いられている唯一の超微細加工技術で，非常に大きな産業規模をもっています。したがって，皆さんが将来この分野に関わる可能性はとても高いといえるでしょう。含まれる技術は多岐にわたるので、用いられる代表的な物理・化学手法のいくつかをとりあげ、その基本について説明します。 |
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| ＜授業の方法＞ | |||
| 講義中心ですが，OHPおよびビデオも利用します。 | |||
| ＜成績評価の方法＞ | |||
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評価は毎回の出席および定期試験の結果をもとに総合的に判断する。 （昨年度は中間試験１回およびレポート提出１回。レポートは定期考査問題を後日提出の形でした。今年は未定ですが，同様になると思います。） |
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| ＜受講に際して・学生へのメッセージ＞ | |||
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本講は機械システム工学科機械情報コース向けに開講されている科目です。機械システム工学系の知識は必要ではありませんが，物理および数学の知識は必要です。物理は，高校の物理I，IIの知識で十分ですが，入試問題では出題されないような内容・概念を取り扱いますので，高校の教科書を準備し特に力学，電磁気学，熱力学を復習しておいてください。数学は大学のごく初級の内容です。 極めて平易な内容なのですが，新奇に感じる概念・内容を多く含んでいますので，最初は難しく感じるかもしれません。それでも，「わかりやすい」という感想をいただいていますし，地道に取り組み課題を解いた学生は単位を取得しています。物理系・化学系双方の学生に親しみの持てる内容と思います。奮って受講してください。 |
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| ＜テキスト＞ | |||
| ＜参考書＞ | |||
| ＜授業計画の概要＞ | |||
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１．真空と気体分子の運動論 ２．プラズマの基礎 ２．物理蒸着法 ３．薄膜の堆積過程 ４．リソグラフィ技術とパターニング ５．エッチング技術 など |
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